Титановый вакуумный сублимационный насос
Титановый вакуумный сублимационный насос
Производительность титанового вакуумного сублимационного насоса достигает многих тысяч кубических футов в минуту при работе в диапазоне давлений от 10-3 до менее 10-11 торр. Максимальная производительность насоса, который перекачивает только химически активные газы, достигается при давлении ниже 10-5 торр. В насосах этого типа титан сублимируется на стенки насоса из источника с резистивным или электронно-лучевым нагревом. Активные газы перекачиваются путём химической реакции, но инертные газы не перекачиваются. Следовательно, его всегда нужно использовать в сочетании с диффузионным или ионно-плазменным вакуумным насосом. При давлении ниже 10-5 торр плёнка будет осаждаться быстрее, чем расходоваться, что позволяет осаждать её с перерывами, а не непрерывно. Сублимационные вакуумные насосы обычно используются в сочетании с ионно-плазменным акуумным насосом в тех случаях, когда требуется высокая скорость и отсутствие органических загрязнений, например, при испарении материалов на чистую поверхность.