Сорбционный вакуумный насос
Сорбционный вакуумный насос
Как правило, размер этих насосов составляет около 1000 граммов сорбирующего материала, который удерживает молекулы газа на своей поверхности сорбционного вакуумного насоса. Они способны откачивать воздух до давления 10-2 торр или могут использоваться последовательно для откачки до давления 10-5 торр. В большинстве случаев сорбирующим материалом вакуумного насоса является молекулярное сито, то есть материал, обработанный таким образом, чтобы он был пористым, а размер пор был сопоставим с размером молекул, хотя можно использовать и активированный уголь. Сорбент помещается в цилиндрический контейнер, который подключается к вакуумной системе и может быть погружен в жидкий азот для переохлаждения, что способствует процессу сорбции. Газ высвобождается, когда сорбент возвращается к комнатной температуре. Этот сорбционный вакуумный насос используется в основном для систем предварительной очистки, в которых ионно-плазменные и титановые сублимационные вакуумные насосы обеспечивают отсутствие органических загрязнений.