Манометр Пеннинга. Датчик ионизации с горячей нитью накала. Ионизационный манометр Байярда-Альперта. Конструкция манометр Пеннинга.
Датчик ионизации с горячей нитью накала. Манометр Пеннинга.
Принцип работы этого манометра аналогичен принципу работы манометра Пеннинга, за исключением того, что электроны вырабатываются горячей нитью накала и ускоряются до сетки. Диапазон измеряемого давления составляет от 1 до 10-5 торр или от 10-2 до 10-7 торр, в зависимости от конструкции электродов. Электроны, испускаемые нитью накала, ионизируют молекулы остаточного газа в откачиваемом контейнере; ионный ток, поступающий на коллекторные пластины, прямо пропорционален давлению и вероятности ионизации остаточного газа. Это чистый и точный манометр, который можно использовать при давлении до 10-6 торр; при более низком давлении его точность снижается из-за мягкого рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов с сеткой. Это рентгеновское излучение создаёт ток в цепи коллектора независимо от давления.
Ионизационный манометр Байярда-Альперта с горячей нитью накала.
В этом ионизационном манометре поперечное сечение коллектора сведено к минимуму, чтобы уменьшить эффект рентгеновского излучения. Это достигается за счет инвертирования манометра, то есть коллектор (тонкая проволока) окружен сеткой. Диапазон измеряемого давления составляет от 10-3 до 10-9 торр или до 10-11 торр, если используется модульный прибор. Принципы работы те же, что и для других ионизационных датчиков, описанных выше.