Тэг: Ионный вакуумный насос

26.01.2025, 07:56

Сорбционный вакуумный насос

Сорбционный вакуумный насос

Как правило, размер этих насосов составляет около 1000 граммов сорбирующего материала, который удерживает молекулы газа на своей поверхности сорбционного вакуумного насоса. Они способны откачивать воздух до давления 10-2 торр или могут использоваться последовательно для откачки до давления 10-5 торр. В большинстве случаев сорбирующим материалом вакуумного насоса является молекулярное сито, то есть материал, обработанный таким образом, чтобы он был пористым, а размер пор был сопоставим с размером молекул, хотя можно использовать и активированный уголь. Сорбент помещается в цилиндрический контейнер, который подключается к вакуумной системе и может быть погружен в жидкий азот для переохлаждения, что способствует процессу сорбции. Газ высвобождается, когда сорбент возвращается к комнатной температуре. Этот сорбционный вакуумный насос используется в основном для систем предварительной очистки, в которых ионно-плазменные и титановые сублимационные вакуумные насосы обеспечивают отсутствие органических загрязнений.

Сорбционный вакуумный насос,

Устройство сорбционного вакуумного насоса,

Конструкция сорбционного вакуумного насоса,

Применение сорбционного вакуумного насоса

25.01.2025, 10:19

Ионный вакуумный насос

Ионный вакуумный насос 

Производительность ионного вакуумного насоса достигает 14 000 кубических футов в минуту в диапазоне рабочего давления от 10-2 торр до менее чем 10-11 торр. Максимальная производительность ионного вакуумного насоса достигается в диапазоне давления от 10-6 до 10-8 торр, хотя характеристики при более низком давлении зависят от конструкции насоса. В этом насосе используется принцип распыления, при котором материал катода, например титан, испаряется или распыляется под воздействием бомбардировки высокоскоростными ионами. Активные газы откачиваются за счёт химической реакции с распылённым титаном, инертные газы — за счёт ионизации и оседания на катоде, а лёгкие газы — за счёт диффузии в катод.
Типичный ионный вакуумный насос состоит из двух плоских прямоугольных катодов с анодом из нержавеющей стали между ними, состоящим из большого количества открытых коробок. Этот узел, установленный внутри узкой коробки, прикреплённой к вакуумной системе, окружён постоянным магнитом. Анод работает при напряжении около семи киловольт (кВ), в то время как катоды находятся под потенциалом земли.
Ионные вакуумные насосы имеют долгий срок службы и могут обеспечивать сверхвысокий вакуум, свободный от органических загрязнений и вибраций. Они используются в основном для исследований чистых поверхностей и в тех областях, где любое органическое загрязнение может привести к неудовлетворительным результатам.

Ионный вакуумный насос