Датчики теплопроводности. Датчик Пирани.
Датчики теплопроводности. Датчик Пирани.
Два типа датчиков теплопроводности, датчик Пирани и термопара, определяют давление по скорости, с которой тепло рассеивается от горячей нити накала. Датчик Пирани по сути представляет собой мост Уитстона с одним плечом в виде нагретой нити накала, помещённой в вакуумную систему. Сопротивление нити накала датчика Пирани зависит от её температуры, которая, в свою очередь, зависит от скорости рассеивания тепловой энергии через остаточный газ. На рассеивание тепловой энергии влияют давление и характеристики теплопроводности остаточного газа. Мост питается от источника постоянного напряжения, и ток разбаланса, возникающий из-за изменения температуры, отображается непосредственно в торрах. В термопарном манометре горячий спай термопары прикреплён к нити накала в вакуумной системе и питается от источника постоянного напряжения. Режим работы такой же, как у манометра Пирани, за исключением того, что температура нити накала показывает давление. Эти манометры надёжны и просты в эксплуатации и охватывают диапазон от 100 до 10-4 торр.