Ионный вакуумный насос
Производительность ионного вакуумного насоса достигает 14 000 кубических футов в минуту в диапазоне рабочего давления от 10-2 торр до менее чем 10-11 торр. Максимальная производительность ионного вакуумного насоса достигается в диапазоне давления от 10-6 до 10-8 торр, хотя характеристики при более низком давлении зависят от конструкции насоса. В этом насосе используется принцип распыления, при котором материал катода, например титан, испаряется или распыляется под воздействием бомбардировки высокоскоростными ионами. Активные газы откачиваются за счёт химической реакции с распылённым титаном, инертные газы — за счёт ионизации и оседания на катоде, а лёгкие газы — за счёт диффузии в катод.
Типичный ионный вакуумный насос состоит из двух плоских прямоугольных катодов с анодом из нержавеющей стали между ними, состоящим из большого количества открытых коробок. Этот узел, установленный внутри узкой коробки, прикреплённой к вакуумной системе, окружён постоянным магнитом. Анод работает при напряжении около семи киловольт (кВ), в то время как катоды находятся под потенциалом земли.
Ионные вакуумные насосы имеют долгий срок службы и могут обеспечивать сверхвысокий вакуум, свободный от органических загрязнений и вибраций. Они используются в основном для исследований чистых поверхностей и в тех областях, где любое органическое загрязнение может привести к неудовлетворительным результатам.